MIKROSKOPIA ELEKTRONIKOA ETA MATERIALEN MIKROANALISIA

Tresnak

Ekorketazko mikroskopio elektronikoa, W harizpiduna (JEOL JSM-6400) eta 3.5 nm-ko bereizmenekoa (elektroi sekundarioen moduan eta 30 kV-etan). Honako hauek ditu:
- Elektroi sekundarioen detektagailua (informazio topografikoa).
- Atzera sakabanatutako elektroien detektagailua (informazio kualitatibo konposizionala eta desorientazio kristalinoarena).
- EDX INCA X-sight detektagailua, Si(Li) pentaFET seriekoa, Oxfordena, leihoa (informazio mikroanalitikoa beriliotik abiatuta) eta INCA Energy 350 eskuratze eta tratamendu sistema duena, analisi puntualak, linealak eta mapaketak egiteko.
- 2 WDX espektrometro, 2na kristalekin, JEOLenak (informazio kualitatibo eta kuantitatibo mikroanalitikoa).
- Irudi digitalak eskuratzeko Orion sistema.
- Mikrozunda batean bezala gardentasun bidezko argiztapenarekin lan egin ahal izateko platina berezia.
- Patroiak ditu material eta mineral ugariren mikroanalisi kuantitatiboa egiteko.

Schottky motako eremu igorpeneko ekorketazko mikroskopio elektronikoa (JEOL JSM-7000F). 30 kV etan 1.2 nm-ko eta 1 kV-ean 3 nm-ko bereizmena elektroi sekundarioetan. 3 nm-ko bereizmena 15 kV-etan atzera sakabanatutako elektroietan eta 10 mm-ko lan distantzia. Azelerazio tentsioa aldakorra da, 0.5 kV eta 30 kV artekoa, eta sortaren korrontea 1 pA eta 200 nA artekoa. Honako hauek ditu:
- Elektroi sekundarioen detektagailua (informazio topografikoa).
- Atzera sakabanatutako elektroien detektagailua (informazio kualitatibo konposizionala eta desorientazio kristalinoarena).
- EDX INCA X-sight detektagailua, Si(Li) pentaFET seriekoa, Oxfordena, leihoa (informazio mikroanalitikoa beriliotik abiatuta) eta INCA Energy 350 eskuratze eta tratamendu sistema duena, analisi puntualak, linealak eta mapaketak egiteko.
- Nordlys II HKL Premium EBSD (atzera sakabanatutako elektroien difrakzioa) detektagailua (informazio kristalografikoa). Channel 5 softwarean HKL, PDF2, geological eta NIST datu baseak zein eskuratze eta tratamendu programak jasota daude: Twist, Mambo, Tango, Salsa, Flamenco, MapStitcher.
- Patroiak ditu material eta mineral ugariren mikroanalisi kuantitatiboa egiteko.
- Tiroen partikulak analizatzeko GSR softwarea.

Transmisiozko mikroskopio elektronikoa, lantano hexaborurozko harizpiduna eta supertwin pieza polarduna (Philips CM200). 0.235 nm-ko puntutik punturako bereizmena eta ±40º-ko inklinazio maximoa. Honako hauek ditu:
- EDAXen EDX detektagailua, 137 eV-eko bereizmenarekin (mikroanalisi puntuala).
- Inklinazio bikoitzeko bi lagin porta, grip modukoa bata eta torlojuduna bestea.
- Inklinazio bakuneko bi lagin porta, horietako bat beriliozkoa, mikroanalisiak egiteko.
- Megaview III kamera digitala, eskuratze bizkorrekoa.
- Beheko kamera digitala, bereizmen handikoa (4Kx4K) eta sentikortasun handikoa.

MEB-FIB (FEI Helios Nanolab 650). Bateratze puntuko bereizmena: 4.5 nm. Ioi sortaren korrontea 65 nA artekoa. Honako hauek ditu:
- 5 gas injektore, Pt, W eta C jalkitzeko, isolatzaile bat (TEOS) eta eraso gas bat (XeF2).
- Omniprobe Autoprobe 200.2 mikromanipulagailua, lamelak erauzteko.
- Elektroi sekundarioen eta atzera sakabanatutako elektroien detektagailuak, laginaren gainazalaren irudia elektroien bidez eskuratzeko.
- Ioi detektagailua, ioiek ematen duten irudia zein elektroi sekundarioek emandakoa eskura dezakeena.
- STEM detektagailua (ioi sortarekin mehetutako laginen transmisioko irudia ematen du).
- EDX Aztec Energy 350 mikroanalisi sistema, Oxforden detektagailu lehorrez hornitua, 124 eV‑eko bereizmena duena (laginen mikroanalisia ahalbidetzen du).

Schottky X-FEG motako eremu igorpeneko bereizmen ultra-handiko mikroskopio elektronikoa (FEI Titan Cubed G2 60-300, monokromagailuz eta aberrazio zuzentzailez (CEOS) hornitua, hirugarren ordenaraino, supertwin objektibo leiarrean), transmisio moduan zein ekorketa/transmisio moduan lan egiten duena. Puntutik punturako bereizmena: ≤ 0.07 nm 300 kV-etan eta ≤ 0.11 nm 80 kV-etan. Bereizmena STEM moduan: ≤ 0.136 nm 300 kV-etan. Energia bereizmena ≤ 0.3 eV. Inklinazioa: a ± 35º eta b ± 30º. Honako hauek ditu:
- Lerrokatzeak 80, 200 eta 300 kV-etan.
- Gatan US1000XP-P kamera, 2Kx2K bereizmenekoa.
- HAADF detektagailuak (Fischione) eta eremu argiko eta eremu iluneko detektagailuak, FEI konpainiakoak.
- EDX Super-X detektagailua (ChemiSTEM teknologia, Bruker-en ESPRIT softwarearen bidez datuak eskuratu eta prozesatzen dituena).
- Gatan Quantum ER/965 P energia iragazkia, iragazki ondoko Gatan 2Kx2K kameraz hornitua.
- Lorentz leiarra.
- Eskuratze bakuneko lagin porta.
- Inklinazio bikoitzeko lagin porta analitikoa.
- Tomografiarako inklinazio bakuneko lagin porta.
- TEM moduan zein STEM moduan eskuratzeko softwarea, tomografiarako. Lerrokatzeko eta berreraikitzeko INSPECT 3D softwarea. Eta bistaratzeko Resolve RT, FEI konpainiakoa. Berreraikitzeko eta bistaratzeko tratamendua off line egiten da beste ordenagailu batean.
- Elektroi prezesioko eskuratze sistema.
- Foku serieak eskuratzeko eta berreraikitzeko True Image softwarea.

Ekorketako eta transmisioko laginak prestatzeko sistema tradizionalak
- Leuntze eta mehetze mekanikoa.
- Leuntze eta mehetze elektrolitikoa.
- Ioi bonbardaketa bidezko leuntzea.
- Karbono, Au eta beste metal batzuen lurrungailuak.

Datuak prozesatzeko off line programak: Carine, JEMS, TIA, Gatan Digital Micrograph, True Image.