Este sistema tiene un tubo de rodio alimentado por un generador HV de baja potencia enfriado por aire. El generador puede operar entre 10-50 kV y 100-600 µA. Se utiliza una óptica policapilar para obtener una resolución (espacial) lateral de hasta 25 µm para la línea Mo Ka (20 µm para algunos elementos). La detección de radiación fluorescente se realiza mediante un detector SDD de dispersión de energía con un área sensible de 30 mm2 y una resolución de energía de 142 eV para la línea Mn Ka. El sistema permite trabajar en condiciones de vacío para mejorar la detección de elementos ligeros (Z<16). El instrumento también implementa varios filtros de haz primario para absorber algunas energías con el fin de reducir los recuentos en la región de interés y al mismo tiempo producir un pico que sea adecuado para excitar los elementos de interés. El filtro más efectivo que puede usarse para este propósito es el filtro de Al de 630 µm. Para el enfoque del área de estudio se utiliza un sistema de tres cámaras. Una cámara se sitúa en la puerta y permite una vista general de la cámara de muestra como un ojo de pez, y otras dos cámaras permiten una vista perpendicular de la superficie de la muestra con diferentes aumentos. Entre estas dos últimas cámaras, la de bajo aumento muestra un área de aprox. 15 x 11 mm2 y la de gran aumento de 1,5 x 1,1 mm2.