La asignatura comprende las bases teóricas y los conocimientos tecnológicos para la fabricación de micro/nano dispositivos y sistemas. Se explican los procesos básicos de fabricación e integración de circuitos electrónicos y de micromecanizado. Se abordan diferentes ámbitos de aplicación que incluyen tecnologías de circuitos integrados, diseño y fabricación de dispositivos MEMs, microsensores, etc.

Programa



1- Introducción a la industria microelectrónica.

Materiales. Fabricación de obleas. Control de la contaminación, sala blanca. Empaquetado. Parámetros de producción.

2-Procesos de fabricación de circuitos integrados.

Epitaxia. Deposición de capas delgadas. Crecimiento de capas delgadas. Procesos litográficos. Grabado. Oxidación. Difusión. Implantación de iones. Procesos de lavado (RCA, agua DI). Planarización (CMP). Interconexiones y contactos.

3- Tecnologías de integración electrónica.

Pozos, aislamientos y contactos. MOS. CMOS. Bipolar. BiCMOS.

4- Diseño físico de un circuito VLSI.

Layout. Capas. Reglas de diseño.

5- Tecnología del micromecanizado de silicio.

Micromecanizado en volumen. Micromecanizado en superficie. Proceso LIGA, micromoldeado. Soldadura de obleas de silicio.

6- Integración de microsistemas.

Estructuras. Compatibilidad con el proceso de ICs, preprocesado, postprocesado, fabricación integrada.

7- Diseño y fabricación de un microsensor.

8- Evolución de las tecnologías.

Nuevos materiales y procesos. Nanotecnología.







Bibliografía obligatoria

*



Bibliografía básica

* FALTA



Bibliografía de profundización

* FALTA



Revistas

*



Direcciones de Internet

*

La asignatura se imparte a través de clases magistrales, clases prácticas en aula para la resolución de problemas propuestos en guías, seminarios y prácticas de procesos y caracterización en laboratorio.

El material docente se pondrá a disposición del alumno en la web del Campus Virtual de la UPV/EHU a través de la plataforma Moodle.

La evaluación de la asignatura se realizará a partir de las siguientes contribuciones :



10% Ejercicios entregables : resolución de ejercicios en clase y/o entrega de ejercicios resueltos manuscritos.



10% Trabajo de preparación y realización de prácticas de laboratorio.



20% Trabajo individual : presentación escrita y oral.



60% Pruebas de clase : uno o dos controles.



- Prueba escrita consistente en la resolución de ejercicios, problemas y cuestiones teóricas.



- No se permitirá utilizar libros, apuntes u otro tipo de información relacionada con la asignatura,

salvo la aportada por el profesor el día del examen.



- Se realizará con tinta azul o negra, no con lápiz.



- Será necesario disponer de calculadora y regla.

Página WEB de la asignatura en el gestor de aulas virtuales eGela.

Basic bibliography

* Michael Quirk and Julian Serda, "Semiconductor Manufacturing Technology", Prentice Hall, 2001.

* Stephen A. Campbell, "The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication", Oxford University Press, 2002.

In-depth bibliography

* Nadim Maluf, "An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering", Second Edition. Artech House Publishers; 2nd edition (June 2004).
* Marc J. Madou, "Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization", Second Edition. CRC; 2nd edition (March 13, 2002).

Journals

* IEEE Nanotechnology Magazine